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溶胶-凝胶法制备外延Ba1-xSrxTiO3薄膜及其结构与性能研究OA北大核心CSCDCSTPCD

EPITAXIALLY GROWN Ba1-xSrxTiO3 THIN FILMS BY SOL-GEL TECHNIQUES AND ITS STRUCTURE AND PROPERTIES

中文摘要

应用溶胶-凝胶技术在Pt/MgO(100)衬底上成功地制备了Ba0.65Sr0.35TiO3外延薄膜.XRD和SEM分析结果表明:该薄膜在O2气氛中650℃热处理1h后,其(001)面是沿着Pt(100)和MgO(100)面外延取向生长的;薄膜表面均匀致密,厚度为260nm,平均晶粒大小为48.5nm.当测试频率为10kHz时,BST薄膜的介电常数和损耗因子分别为480和0.02.介电常数-温度关系测试结果表明:sol-gel工艺制备的Ba0.6…查看全部>>

章天金;王玮;杨向荣

湖北大学物理学与电子技术学院,湖北,武汉,430062湖北大学物理学与电子技术学院,湖北,武汉,430062湖北大学物理学与电子技术学院,湖北,武汉,430062

信息技术与安全科学

薄膜溶胶-凝胶工艺外延生长电性能

《红外与毫米波学报》 2002 (5)

393-396,4

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