首页|期刊导航|光学精密工程|应力变化对多层薄膜窄带滤光片透射光谱的影响

应力变化对多层薄膜窄带滤光片透射光谱的影响OA北大核心CSCDCSTPCD

Influences of stress changes on transmission characteristics of multilayer thin-film narrow bandpass filters

中文摘要

利用薄膜应力公式和弹性力学的小挠度弯曲理论分析了在应力变化情况下,多层薄膜应变与膜厚变化的关系,并建立其数学模型,提出多层薄膜各层厚度变化的不均匀性理论.利用这个模型在应力减小200 MPa条件下对138层4腔的100 GHz滤光片光谱进行了模拟,与设计值比较发现中心波长增加了0.562 nm;0.5 dB处的带宽比设计值减小0.124 nm;25 dB处的带宽比设计值减小0.01 nm;谱线矩形化变差;插损也有明显的增加.说明了应力变化引起的光…查看全部>>

王成;张贵彦;肖孟超;马莹;钱龙生

中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033

数理科学

光学薄膜光谱退化窄带滤光片应力

《光学精密工程》 2004 (4)

393-397,5

国家863计划资助项目(2001AA312100)中国科学院光电科技集团项目(KGCX2-405)

评论

您当前未登录!去登录点击加载更多...