人工晶体学报2001，Vol.30Issue(4)：393-397,5.
提拉法生长单晶工艺中扩肩阶段实行自动控制的研究
Research on the Autocontrol of the Stage of Extending Shoulder in Growing Crystal by the Czochralski Method
周志强 1张振志 1康平 1成肇安 1杜小红1
作者信息
摘要
关键词
提拉法/自动扩肩/上"浮秤”/优化设计/逆向模拟分类
数理科学引用本文复制引用
周志强,张振志,康平,成肇安,杜小红..提拉法生长单晶工艺中扩肩阶段实行自动控制的研究[J].人工晶体学报,2001,30(4):393-397,5.
