表面技术2007，Vol.36Issue(6)：39-41,3.
反应溅射Ti(O,N)涂层的微结构与力学性能
Microstructure and Mechanical Properties of Reactively Sputtered Ti(O,N) Coatings
摘要
关键词
反应磁控溅射/Ti(O,N)复合涂层/微结构/力学性能分类
矿业与冶金引用本文复制引用
吴莹,吴昕蔚,李广泽,李戈扬..反应溅射Ti(O,N)涂层的微结构与力学性能[J].表面技术,2007,36(6):39-41,3.基金项目
国家自然科学基金项目资助(50571062) （50571062）
