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TiO2薄膜的制备及结构研究

孟宪权 王君 何磊 范湘军

半导体学报Issue(5)：395,1.
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半导体学报Issue(5)：395,1.

TiO2薄膜的制备及结构研究

孟宪权 1王君 1何磊 2范湘军2

作者信息

  • 1. 武汉大学物理系加速器实验室
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摘要

关键词

二氧化钛薄膜/制备/结构

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

孟宪权,王君,何磊,范湘军..TiO2薄膜的制备及结构研究[J].半导体学报,1999,(5):395,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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