中国机械工程2005，Vol.16Issue(z1)：398-400,3.
纳米压印光刻技术及其设备研制
Design of a Nanoimprint Lithography System
董晓文 1司卫华 2顾文琪1
作者信息
- 1. 中国科学院电工研究所,北京,100080
- 2. 中国科学院研究生院,北京,100039
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摘要
关键词
纳米压印/纳米结构/热压印/模版分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
董晓文,司卫华,顾文琪..纳米压印光刻技术及其设备研制[J].中国机械工程,2005,16(z1):398-400,3.
