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凹槽栅场调制板结构AlGaN/GaN HEMT

陈堂胜 王晓亮 焦刚 钟世昌 任春江 陈辰 李拂晓

半导体学报2007,Vol.28Issue(z1):398-401,4.
半导体学报2007,Vol.28Issue(z1):398-401,4.

凹槽栅场调制板结构AlGaN/GaN HEMT

Recessed-Gate AlGaN/GaN HEMTs with Field-Modulating Plate

陈堂胜 1王晓亮 2焦刚 1钟世昌 1任春江 1陈辰 1李拂晓1

作者信息

  • 1. 南京电子器件研究所,单片集成电路与模块国家重点实验室,南京,210016
  • 2. 中国科学院半导体研究所,北京,100083
  • 折叠

摘要

关键词

宽禁带半导体/AlGaN/GaN)高电子迁移率晶体管/场板/凹槽栅

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

陈堂胜,王晓亮,焦刚,钟世昌,任春江,陈辰,李拂晓..凹槽栅场调制板结构AlGaN/GaN HEMT[J].半导体学报,2007,28(z1):398-401,4.

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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