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基于神经网络方法预测薄膜的厚度

于丽娟 朱长纯 陈晓宁

半导体学报2000，Vol.21Issue(4)：400-403,4.
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半导体学报2000，Vol.21Issue(4)：400-403,4.

基于神经网络方法预测薄膜的厚度

Neural Networks Models on Thickness of Thin Film

于丽娟 1朱长纯 1陈晓宁2

作者信息

  • 1. 西安交通大学电信工程学院电子系，西安 710049
  • 2. 西安交通大学电气工程学院，西安 710049
  • 折叠

摘要

关键词

薄膜/厚度/预测/神经网络

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

于丽娟,朱长纯,陈晓宁..基于神经网络方法预测薄膜的厚度[J].半导体学报,2000,21(4):400-403,4.

基金项目

国家自然科学基金(69676004)和教育部博士点基金(96069803)资助项目 （69676004）

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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