中国机械工程2005，Vol.16Issue(z1)：401-403,406,4.
表面加工多晶硅薄膜电阻温度系数的在线测试
On-line Testing for Temperature Coefficient of Resistance of Surface-Micromachined Polysilicon Thin Films
摘要
关键词
电阻温度系数/多晶硅薄膜/表面微加工/在线测试分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
许高斌,汪家文..表面加工多晶硅薄膜电阻温度系数的在线测试[J].中国机械工程,2005,16(z1):401-403,406,4.
