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利用脉冲激光剥蚀技术制备PZT铁电薄膜

白铁城 徐静平

华中理工大学学报1999,Vol.27Issue(4):40-42,3.
华中理工大学学报1999,Vol.27Issue(4):40-42,3.

利用脉冲激光剥蚀技术制备PZT铁电薄膜

Preparation of Ferroelectric Thin Films of PZT by a Pulsed Laser Ablation Technique

白铁城 1徐静平1

作者信息

  • 1. 华中理工大学电子科学与技术系
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摘要

关键词

PZT铁电薄膜/激光剥蚀技术/居里温度/激光退火/钙钛矿

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

白铁城,徐静平..利用脉冲激光剥蚀技术制备PZT铁电薄膜[J].华中理工大学学报,1999,27(4):40-42,3.

华中理工大学学报

OA北大核心

1671-4512

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