电子器件2004，Vol.27Issue(1)：40-43,4.
电阻蒸发Ga2O3薄膜成分和结构的研究
A Study of Structure and Component Distribution of Thin Film Ga2O3 Prepared by Thermal Evaporation
摘要
关键词
蒸发/Ga2O3/薄膜/结构/成分分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王震,黄蕙芬,张浩康..电阻蒸发Ga2O3薄膜成分和结构的研究[J].电子器件,2004,27(1):40-43,4.基金项目
本课题得到江苏省自然科学基金项目支持(BK2001012). （BK2001012）
