金刚石与磨料磨具工程Issue(5)：40-43,4.
化学机械抛光中抛光垫的研究
STUDY ON THE PERFORMANCES OF POLISHING PAD IN CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING
摘要
关键词
化学机械抛光/抛光垫/聚氨酯/修整分类
矿业与冶金引用本文复制引用
魏昕,熊伟,黄蕊慰,袁慧..化学机械抛光中抛光垫的研究[J].金刚石与磨料磨具工程,2004,(5):40-43,4.基金项目
广东省科技攻关项目(No.2002C1020201)、广东省自然科学基金项目(No.020143)、留学回国人员科研启动基金项目(教外司[2003]14号)、广东省教育厅人才基金项目(粤教科[2002]44号)资助. （No.2002C1020201）
