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Pb(Zr0.3Ti0.7)O3热释电薄膜材料研究

钟朝位 汪红兵 彭家根 张树人 张万里

红外与毫米波学报2005，Vol.24Issue(6)：405-408,4.
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红外与毫米波学报2005，Vol.24Issue(6)：405-408,4.

Pb(Zr0.3Ti0.7)O3热释电薄膜材料研究

INVESTIGATION ON Pb(Zr0.3Ti0.7)O3 PYROELECTRIC THIN FILM MATERIALS

钟朝位 1汪红兵 2彭家根 1张树人 3张万里1

作者信息

  • 1. 电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054
  • 2. 四川压电与声光技术研究所,重庆,400060
  • 3. 中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900
  • 折叠

摘要

关键词

PZT薄膜/射频磁控溅射/非制冷红外焦平面/探测器阵列

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

钟朝位,汪红兵,彭家根,张树人,张万里..Pb(Zr0.3Ti0.7)O3热释电薄膜材料研究[J].红外与毫米波学报,2005,24(6):405-408,4.

基金项目

国家九七三重大基础研究(51310204)资助项目 （51310204）

红外与毫米波学报

OA北大核心CSCDSCI

1001-9014

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