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中心波长为13.9 nm的正入射Mo/Si多层膜

范鲜红 陈波 尼启良 王晓光

发光学报2008，Vol.29Issue(2)：405-408,4.
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发光学报2008，Vol.29Issue(2)：405-408,4.

中心波长为13.9 nm的正入射Mo/Si多层膜

Normal-Incidence Reflectivity of Mo/Si Multilayer at 13.9 nm

范鲜红 1陈波 2尼启良 1王晓光1

作者信息

  • 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130033
  • 2. 中国科学院,研究生院,北京,100049
  • 折叠

摘要

关键词

Mo/Si多层膜/反射率/极紫外波段

分类

数理科学

引用本文复制引用

范鲜红,陈波,尼启良,王晓光..中心波长为13.9 nm的正入射Mo/Si多层膜[J].发光学报,2008,29(2):405-408,4.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(40774098) （40774098）

发光学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-7032

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