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江西科学
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微悬臂梁器件制作工艺的可靠性研究
微悬臂梁器件制作工艺的可靠性研究
梁明富
赵翔
江西科学
2009，Vol.27
Issue(3)：405-408,471,5.
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江西科学
2009，Vol.27
Issue(3)
：405-408,471,5.
微悬臂梁器件制作工艺的可靠性研究
Reliability for Microcantilever Device Manufacture Craft
梁明富
1
赵翔
1
作者信息
1.
扬州市职业大学,江苏,扬州,225009
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摘要
关键词
MEMS
/
微悬臂梁
/
失效
分类
机械制造
引用本文
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梁明富,赵翔..微悬臂梁器件制作工艺的可靠性研究[J].江西科学,2009,27(3):405-408,471,5.
江西科学
ISSN：
1001-3679
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