光学 精密工程2006，Vol.14Issue(3)：406-411,6.
一种纳米级二维微定位工作台的设计与分析
Design and analysis on a 2-DOF nanopositioning stage
摘要
关键词
柔性铰链/纳米定位工作台/有限元分析分类
机械制造引用本文复制引用
孙立宁,马立,荣伟彬,高燕..一种纳米级二维微定位工作台的设计与分析[J].光学 精密工程,2006,14(3):406-411,6.基金项目
国家863计划项目(No.2002AA404550) （No.2002AA404550）
