人工晶体学报2008，Vol.37Issue(2)：411-416,6.
退火温度对TiO2薄膜结构、组分和光学性能的影响
Effect of Annealing Temperature on Structural, Compositional and Optical Properties of TiO2 Films
摘要
关键词
射频磁控溅射/TiO22薄膜/退火/光学性能分类
数理科学引用本文复制引用
周明飞,孟凡明,孙兆奇,宋学萍..退火温度对TiO2薄膜结构、组分和光学性能的影响[J].人工晶体学报,2008,37(2):411-416,6.基金项目
国家自然科学基金(No.50642038) （No.50642038）
高等学校博士学科点专项基金(No.20060357003) （No.20060357003）
安徽省高等学校省级自然科研基金资助项目(No.KJ20078132) （No.KJ20078132）
安徽大学研究生创新项目(No.20073038) （No.20073038）
