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几种高温高频压力传感器的研制与开发

王文襄 王晋林 李水霞 张文钊

测试技术学报2002，Vol.16Issue(z1)：413-416,4.
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测试技术学报2002，Vol.16Issue(z1)：413-416,4.

几种高温高频压力传感器的研制与开发

王文襄 1王晋林 1李水霞 1张文钊1

作者信息

  • 1. 昆山双桥传感器研究所,昆山,周庄,215325
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摘要

关键词

高温压力传感器/动态频响/MEMS技术/SOI技术/齐平封装

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王文襄,王晋林,李水霞,张文钊..几种高温高频压力传感器的研制与开发[J].测试技术学报,2002,16(z1):413-416,4.

测试技术学报

1671-7449

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