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热丝法气相沉积金刚石薄膜的影响因素

李建国 刘实 李依依 胡东平 李军 周德惠

金刚石与磨料磨具工程Issue(1)：41-44,4.
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金刚石与磨料磨具工程Issue(1)：41-44,4.

热丝法气相沉积金刚石薄膜的影响因素

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李建国 1刘实 2李依依 1胡东平 1李军 2周德惠2

作者信息

  • 1. 中国科学院金属研究所,辽宁省,沈阳市,110016
  • 2. 中国工程物理研究院,四川省绵阳市919信箱401分箱,621900
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摘要

关键词

热丝化学气相沉积/金刚石薄膜/影响因素/硬质合金

分类

化学化工

引用本文复制引用

李建国,刘实,李依依,胡东平,李军,周德惠..热丝法气相沉积金刚石薄膜的影响因素[J].金刚石与磨料磨具工程,2004,(1):41-44,4.

基金项目

中国工程物理研究院军民两用技术资助 （）

金刚石与磨料磨具工程

OA北大核心CSTPCD

1006-852X

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