半导体学报2007，Vol.28Issue(3)：415-419,5.
C+注入a-SiNx:H的原子化学键合的研究
XPS of SiCN Thin Films Prepared by C+ Implantation in Amorphous SiNx:H
摘要
关键词
C+注入/SiCN/XPS/高温退火分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈超,刘渝珍,董立军,陈大鹏,王小波..C+注入a-SiNx:H的原子化学键合的研究[J].半导体学报,2007,28(3):415-419,5.基金项目
中国科学院院长基金资助项目(批准号:936) （批准号:936）
