物理学报2007，Vol.56Issue(7)：4169-4174,6.
氮分压对氮化铜薄膜结构及光学带隙的影响
Effect of nitrogen pressure on structure and optical band gap of copper nitride thin films
肖剑荣 1徐慧 2李燕峰 1李明君1
作者信息
- 1. 中南大学物理科学与技术学院,长沙,410083
- 2. 桂林工学院数理系,桂林,541004
- 折叠
摘要
关键词
氮化铜薄膜/反应射频磁控溅射/晶体结构/光学带隙分类
化学化工引用本文复制引用
肖剑荣,徐慧,李燕峰,李明君..氮分压对氮化铜薄膜结构及光学带隙的影响[J].物理学报,2007,56(7):4169-4174,6.
