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考虑量子力学效应的超薄栅氧nMOSFET's直接隧穿电流二维模型

陈立锋 马玉涛 田立林

半导体学报2002,Vol.23Issue(4):419-423,5.
半导体学报2002,Vol.23Issue(4):419-423,5.

考虑量子力学效应的超薄栅氧nMOSFET's直接隧穿电流二维模型

Modeling on 2-D Direct Tunneling Current in Ultra-Thin Oxide nMOSFET's Considering Quantum Mechanics

陈立锋 1马玉涛 1田立林1

作者信息

  • 1. 清华大学微电子所,北京,100084
  • 折叠

摘要

关键词

MOSFET's/量子效应/栅隧穿电流/器件模型

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

陈立锋,马玉涛,田立林..考虑量子力学效应的超薄栅氧nMOSFET's直接隧穿电流二维模型[J].半导体学报,2002,23(4):419-423,5.

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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