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用于合成金刚石薄膜的微波等离子体CVD系统

霍晓

航空材料学报Issue(3)：42,1.

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航空材料学报Issue(3)：42,1.

用于合成金刚石薄膜的微波等离子体CVD系统

霍晓¹

作者信息

1. 不详;不详
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摘要

关键词

微波等离子体/CVD/金刚石薄膜

分类

信息技术与安全科学

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霍晓..用于合成金刚石薄膜的微波等离子体CVD系统[J].航空材料学报,1994,(3):42,1.

航空材料学报

ISSN：1005-5053

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