机械科学与技术2005，Vol.24Issue(4)：420-422,3.
静电力作用下微梁变形分析与计算
Analysis and Computation of a Deformation of a Microbeam Driven by Electrostatic Force
王洪喜 1贾建援 1樊康旗1
作者信息
- 1. 西安电子科技大学,机电工程学院,西安,710071
- 折叠
摘要
关键词
微梁/静电力/微机电系统分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王洪喜,贾建援,樊康旗..静电力作用下微梁变形分析与计算[J].机械科学与技术,2005,24(4):420-422,3.
