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AlGaN PIN紫外探测器的结构及性能分析

张春福 郝跃 周小伟 李培咸 邵波涛

电子器件2005,Vol.28Issue(2):421-427,7.
电子器件2005,Vol.28Issue(2):421-427,7.

AlGaN PIN紫外探测器的结构及性能分析

Analysis of Structure and Characteristics of AlGaN PIN Ultraviolet Photodetectors

张春福 1郝跃 1周小伟 1李培咸 1邵波涛1

作者信息

  • 1. 西安电子科技大学微电子所,西安,710071
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摘要

关键词

AlGaN/p-i-n/光电探测器/可见光盲区/太阳盲区

分类

机械制造

引用本文复制引用

张春福,郝跃,周小伟,李培咸,邵波涛..AlGaN PIN紫外探测器的结构及性能分析[J].电子器件,2005,28(2):421-427,7.

电子器件

OACSCD

1005-9490

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