传感技术学报2009，Vol.22Issue(1)：42-44,3.
一种与CMOS工艺兼容的钨微热板
CMOS Compatible Tungsten Micro-Hotplate
汪家奇 1唐祯安1
作者信息
- 1. 大连理工大学电信学院,辽宁,大连,116024
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摘要
关键词
CMOS工艺/MEMS/钨电阻/钨微热板分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
汪家奇,唐祯安..一种与CMOS工艺兼容的钨微热板[J].传感技术学报,2009,22(1):42-44,3.基金项目
国家自然科学基金重点项目资助(90607003) （90607003）
