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SiC单晶生长炉温度场有限元分析及模拟

徐伟 刘雪绞

重庆工学院学报(自然科学版)2008,Vol.22Issue(11):42-46,5.
重庆工学院学报(自然科学版)2008,Vol.22Issue(11):42-46,5.

SiC单晶生长炉温度场有限元分析及模拟

Finite Element Analysis and Simulation Study on Temperature Field of Silicon Carbide Single Crystal Growth Furnace

徐伟 1刘雪绞1

作者信息

  • 1. 太原理工大学,理学院,太原,030024
  • 折叠

摘要

关键词

SiC单晶/温度场/有限元分析

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

徐伟,刘雪绞..SiC单晶生长炉温度场有限元分析及模拟[J].重庆工学院学报(自然科学版),2008,22(11):42-46,5.

重庆工学院学报(自然科学版)

OACSTPCD

1674-8425

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