南阳师范学院学报2009，Vol.8Issue(3)：42-47,6.
多晶硅薄膜材料与器件研究进展
Progress in research on polycrystalline silicon film and device
王红娟 1张帅1
作者信息
- 1. 南阳师范学院物理与电子工程学院,河南,南阳,473061
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摘要
关键词
多晶硅薄膜/器件/化学气相沉积/固相晶化分类
数理科学引用本文复制引用
王红娟,张帅..多晶硅薄膜材料与器件研究进展[J].南阳师范学院学报,2009,8(3):42-47,6.
