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高速沉积本征微晶硅的优化及其在太阳电池中的应用

韩晓艳薛俊明赵颖耿新华侯国付魏长春张晓丹戴志华李贵君孙建陈新亮张德坤

物理学报2009，Vol.58Issue(6)：4254-4259,6.

高速沉积本征微晶硅的优化及其在太阳电池中的应用

Optimization of high rate growth high quality μc-Si:H thin films and its application to the solar cells

韩晓艳 ¹薛俊明 ¹赵颖 ¹耿新华 ¹侯国付 ¹魏长春 ¹张晓丹 ¹戴志华 ¹李贵君 ¹孙建 ¹陈新亮 ¹张德坤¹

作者信息

1. 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071
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摘要

关键词

高速沉积/微晶硅薄膜/微结构演变/功率梯度

分类

数理科学

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韩晓艳,薛俊明,赵颖,耿新华,侯国付,魏长春,张晓丹,戴志华,李贵君,孙建,陈新亮,张德坤..高速沉积本征微晶硅的优化及其在太阳电池中的应用[J].物理学报,2009,58(6):4254-4259,6.

基金项目

国家重点基础研究发展计划(批准号:2006CB202602,2006CB202603)、国家自然科学基金(批准号:60506003)、国家科技计划配套项目(批准号:07QTPTJC29500)和天津市应用基础研究计划(批准号:07JCYBJC04000)资助的课题. （批准号:2006CB202602,2006CB202603）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1000-3290

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