物理学报2009，Vol.58Issue(6)：4260-4266,7.
PECVD制备AZO(ZnO:Al)透明导电薄膜
Fabrication of transparent conductive AZO (ZnO:Al) film by plasma enhanced chemical vapor deposition
摘要
关键词
AZO(ZnO:Al)/等离子体增强化学气相沉积/透明导电薄膜分类
数理科学引用本文复制引用
陈兆权,刘明海,刘玉萍,陈伟,罗志清,胡希伟..PECVD制备AZO(ZnO:Al)透明导电薄膜[J].物理学报,2009,58(6):4260-4266,7.基金项目
国家教育部留学回国人员科研启动基金资助的课题. （）
