用于X射线光刻对准的图像边缘增强技术OA北大核心CSCDCSTPCD
Image edge-enhanced technique for X-ray lithography alignment
提出了用于提高X射线光刻对准系统自动对准效率和对准精度的图像边缘增强技术,并进行了数值分析.采用先单个再整体的分析方法,通过三种不同的图像边缘增强技术,即索贝尔(SOBEL)算子、拉普拉斯(LAPLAC)算子以及卷积等方法对CCD系统采集的对准标记图像进行处理,得到了每个方法相对应的处理结果,并对于处理结果进行了比较分析.分析比较得出:采用卷积和LAPLAC算子相结合的方法,即先卷积,再利用7个算子的LAPLAC方法进行处理,可以将对准系统的自动…查看全部>>
王德强;谢常青;叶甜春
中国科学院,微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029中国科学院,微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029中国科学院,微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029
信息技术与安全科学
X射线光刻对准系统拉普拉斯算法索贝尔算法
《光学精密工程》 2004 (4)
426-431,6
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