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半导体学报
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InGaAsP/InP 外延薄膜折射率与厚度测量
InGaAsP/InP 外延薄膜折射率与厚度测量
刘永智
余般枚
边红
半导体学报
Issue(7):429,1.
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半导体学报
Issue(7)
:429,1.
InGaAsP/InP 外延薄膜折射率与厚度测量
刘永智
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刘永智,余般枚,边红..InGaAsP/InP 外延薄膜折射率与厚度测量[J].半导体学报,1993,(7):429,1.
半导体学报
OA
北大核心
CSCD
ISSN:
1674-4926
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