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原子力显微镜传感器的微机械加工技术的研究

薛实福

光学精密工程Issue(2)：43,1.
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光学精密工程Issue(2)：43,1.

原子力显微镜传感器的微机械加工技术的研究

薛实福1

作者信息

  • 1. 清华大学精密仪器与机械学系;清华大学精密仪器与机械学系
  • 折叠

摘要

关键词

微机械加工/原子力/显微镜/力传感器

分类

机械制造

引用本文复制引用

薛实福..原子力显微镜传感器的微机械加工技术的研究[J].光学精密工程,1997,(2):43,1.

基金项目

国家自然科学基金委基金 （）

光学精密工程

OACSCD

1004-924X

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