传感技术学报2005，Vol.18Issue(2)：430-432,3.
ST切型石英膜片的应力分析
Stress Analyzing of ST Quartz Membrane
舒茂盛 1王生楠 1何鹏举2
作者信息
- 1. 西北工业大学,航空学院,西安,710072
- 2. 西北工业大学,自动化学院,西安,710072
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摘要
关键词
ST切型石英膜片/SAW压力传感器/应力分析/有限元法分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
舒茂盛,王生楠,何鹏举..ST切型石英膜片的应力分析[J].传感技术学报,2005,18(2):430-432,3.
