半导体学报2004，Vol.25Issue(4)：430-435,6.
在线检测多晶硅薄膜热导率测试结构的设计与模拟
Design and Simulation of On-Line Test Structure for Thermal Conductivity of Polysilicon Thin Films
许高斌 1黄庆安1
作者信息
- 1. 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096
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摘要
关键词
热导率/表面微机械技术/测试结构/多晶硅薄膜分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
许高斌,黄庆安..在线检测多晶硅薄膜热导率测试结构的设计与模拟[J].半导体学报,2004,25(4):430-435,6.
