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复杂单臂机器人集束型装备调度模型

李林瑛 胡静涛

信息与控制2009，Vol.38Issue(4)：431-436,6.
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信息与控制2009，Vol.38Issue(4)：431-436,6.

复杂单臂机器人集束型装备调度模型

Scheduling Model of Complicated Cluster Tools with Single-Blade Robot

李林瑛 1胡静涛2

作者信息

  • 1. 中国科学院沈阳自动化研究所工业信息学重点实验室,辽宁,沈阳,110016
  • 2. 中国科学院研究生院,北京,100049
  • 折叠

摘要

关键词

半导体制造/集束型装备/混合整数规划模型/并行腔/可重入腔

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李林瑛,胡静涛..复杂单臂机器人集束型装备调度模型[J].信息与控制,2009,38(4):431-436,6.

基金项目

沈阳市科技计划资助项目(108155-2-00). （108155-2-00）

信息与控制

OA北大核心CSCDCSTPCD

1002-0411

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