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基于Labview技术的消光式椭偏测厚仪的研究与设计

张诚 王金海 陈才和 张波 岳泉

传感技术学报2006，Vol.19Issue(2)：432-435,4.
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传感技术学报2006，Vol.19Issue(2)：432-435,4.

基于Labview技术的消光式椭偏测厚仪的研究与设计

Research and Design of Light Elimination Type Ellipsometer Based on Labview Technology

张诚 1王金海 1陈才和 2张波 2岳泉1

作者信息

  • 1. 天津工业大学,信息与通信工程学院,天津,300160
  • 2. 天津大学,精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072
  • 折叠

摘要

关键词

椭偏仪/消光法/虚拟仪器/Labview

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张诚,王金海,陈才和,张波,岳泉..基于Labview技术的消光式椭偏测厚仪的研究与设计[J].传感技术学报,2006,19(2):432-435,4.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(49974010) （49974010）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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