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沉积参数对SiNx薄膜结构及阻透性能的影响

丁万昱 王华林 苗壮 张俊计 柴卫平

物理学报2009，Vol.58Issue(1)：432-437,6.
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物理学报2009，Vol.58Issue(1)：432-437,6.

沉积参数对SiNx薄膜结构及阻透性能的影响

Influence of deposition parameter on chemical structure and moisture resistant properties for SiNx films deposited by DC pulse magnetron

丁万昱 1王华林 2苗壮 1张俊计 2柴卫平3

作者信息

  • 1. 光电材料与器件研究所,大连交通大学,大连,116028
  • 2. 材料科学与工程学院,大连交通大学,大连,116028
  • 3. 国家包装产品质量监督检验中心,大连,116028
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摘要

关键词

SiNx/磁控溅射/微观结构/阻透性能

分类

数理科学

引用本文复制引用

丁万昱,王华林,苗壮,张俊计,柴卫平..沉积参数对SiNx薄膜结构及阻透性能的影响[J].物理学报,2009,58(1):432-437,6.

基金项目

大连市科技计划项目(批准号:060907)资助的课题. （批准号:060907）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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