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用原子力显微镜分析Al2O3抛光处理的ITO玻璃表面形貌

耿立威 张晓燕 王立 王广德

理化检验-物理分册2007,Vol.43Issue(9):433-436,4.
理化检验-物理分册2007,Vol.43Issue(9):433-436,4.

用原子力显微镜分析Al2O3抛光处理的ITO玻璃表面形貌

SURFACE CHARACTERISTIC OF ITO GLASS POLISHED Al2O3 USING ATOMIC FORCE MICROSCOPY

耿立威 1张晓燕 1王立 2王广德2

作者信息

  • 1. 吉林师范大学,环境工程学院,四平,136000
  • 2. 吉林师范大学,信息技术学院,四平,136000
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摘要

关键词

原子力显微镜/铟锡氧化物/抛光处理/有机电致发光器件

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

耿立威,张晓燕,王立,王广德..用原子力显微镜分析Al2O3抛光处理的ITO玻璃表面形貌[J].理化检验-物理分册,2007,43(9):433-436,4.

基金项目

吉林省科技发展计划项目(20050523) (20050523)

吉林省教育厅科研计划项目(吉教科合字[2003]第25号) (吉教科合字[2003]第25号)

吉林省教育厅科研计划项目(吉教科合字[2004]第54号),四平科技局计划项目(四科合字第 20030017号). (吉教科合字[2004]第54号)

理化检验-物理分册

OACSTPCD

1001-4012

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