人工晶体学报2009，Vol.38Issue(2)：434-439,6.
HFCVD系统中衬底温度场及气相空间场的数值分析
Numerical Analysis of Substrate Temperature Field and Gas Spacial Field in Hot Filament CVD System
摘要
关键词
金刚石膜/HFCVD/温度场/气相空间场/数值分析分类
通用工业技术引用本文复制引用
杨春,卢文壮,左敦稳,徐锋,任卫涛..HFCVD系统中衬底温度场及气相空间场的数值分析[J].人工晶体学报,2009,38(2):434-439,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.50605032) （No.50605032）
江苏省自然基金资助项目(No.BK2006189、BK2007193) （No.BK2006189、BK2007193）
