半导体学报2002，Vol.23Issue(1)：43-48,6.
单晶硅中氢与辐照缺陷的相互作用
Reaction of Hydrogen with Neutron-Irradiation-Induced Defects in Crystalline Silicon
王启元 1林兰英 1王建华 1邓惠芳 1谭利文 1王俊 1蔡田海 1郁元桓1
作者信息
- 1. 中国科学院半导体研究所,材料科学中心,北京,100083
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摘要
关键词
中子辐照/退火/辐照缺陷分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王启元,林兰英,王建华,邓惠芳,谭利文,王俊,蔡田海,郁元桓..单晶硅中氢与辐照缺陷的相互作用[J].半导体学报,2002,23(1):43-48,6.
