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Si+注入InP材料的欧姆接触特性研究

沈鸿烈 徐宏来 周祖尧 林梓鑫 邹世昌

半导体学报Issue(6)：435,1.
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半导体学报Issue(6)：435,1.

Si+注入InP材料的欧姆接触特性研究

沈鸿烈 1徐宏来 1周祖尧 1林梓鑫 1邹世昌1

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摘要

关键词

离子注入/InP材料/硅离子/欧姆接触

分类

信息技术与安全科学

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沈鸿烈,徐宏来,周祖尧,林梓鑫,邹世昌..Si+注入InP材料的欧姆接触特性研究[J].半导体学报,1994,(6):435,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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