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新型集成压力传感器的研究

张维新 毛赣如 曲宏伟 姚素英 李建文

半导体学报Issue(6)：435,1.
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半导体学报Issue(6)：435,1.

新型集成压力传感器的研究

张维新 1毛赣如 1曲宏伟 2姚素英 2李建文2

作者信息

  • 1. 天津大学电子工程系
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摘要

关键词

集成压力传感器/传感器/集成电路/压力传感器

分类

机械制造

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张维新,毛赣如,曲宏伟,姚素英,李建文..新型集成压力传感器的研究[J].半导体学报,1996,(6):435,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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