|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|半导体学报|原子氢钝化硅中与铜有关的缺陷

原子氢钝化硅中与铜有关的缺陷

王忠安 陈开茅 秦国刚

半导体学报Issue(4)：437,1.
✕
半导体学报Issue(4)：437,1.

原子氢钝化硅中与铜有关的缺陷

王忠安 1陈开茅 1秦国刚1

作者信息

  • 折叠

摘要

引用本文复制引用

王忠安,陈开茅,秦国刚..原子氢钝化硅中与铜有关的缺陷[J].半导体学报,1985,(4):437,1.

半导体学报

1674-4926

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文