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实现气敏元件高选择性的一种方法

吴兴惠 李艳峰 周桢来 田子华

半导体学报Issue(7)：439,1.
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半导体学报Issue(7)：439,1.

实现气敏元件高选择性的一种方法

吴兴惠 1李艳峰 1周桢来 1田子华1

作者信息

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摘要

关键词

气敏器件/半导体/气敏元件/选择

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

吴兴惠,李艳峰,周桢来,田子华..实现气敏元件高选择性的一种方法[J].半导体学报,1993,(7):439,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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