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半导体学报
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扩展电阻分析对砷在硅中本征扩散系数的研究
扩展电阻分析对砷在硅中本征扩散系数的研究
卢志恒
罗晏
王大椿
半导体学报
Issue(6)：441,1.
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半导体学报
Issue(6)
：441,1.
扩展电阻分析对砷在硅中本征扩散系数的研究
卢志恒
1
罗晏
1
王大椿
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摘要
关键词
扩散
/
硅
/
杂质
/
砷
/
扩展电阻
分类
信息技术与安全科学
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卢志恒,罗晏,王大椿..扩展电阻分析对砷在硅中本征扩散系数的研究[J].半导体学报,1989,(6):441,1.
半导体学报
OA
CSCD
ISSN：
1674-4926
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