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硅单晶中氮-氧复合体的红外吸收研究

杨德仁 阙端麟 Koji Sunimo

红外与毫米波学报1995，Vol.14Issue(6)：441-446,6.
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红外与毫米波学报1995，Vol.14Issue(6)：441-446,6.

硅单晶中氮-氧复合体的红外吸收研究

INFRARED ABSORPTION STUDY OF NITROGEN-OXYGEN COMPLEX IN SILICON

杨德仁 1阙端麟 1Koji Sunimo2

作者信息

  • 1. 浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027
  • 2. Lnsitute for Materials Research,Tohoku University,Sendai,980,Japan
  • 折叠

摘要

关键词

硅/氮-氧复合体/红外吸收

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

杨德仁,阙端麟,Koji Sunimo..硅单晶中氮-氧复合体的红外吸收研究[J].红外与毫米波学报,1995,14(6):441-446,6.

基金项目

国家自然科学基金资助项目 （）

红外与毫米波学报

OA北大核心CSCD

1001-9014

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