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PLD技术在功能薄膜材料研究中的应用

刘桂珍周小荣何永周建

中国水运（理论版）2007，Vol.5Issue(12)：44-45,2.

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中国水运（理论版）2007，Vol.5Issue(12)：44-45,2.

PLD技术在功能薄膜材料研究中的应用

Application of PLD technology in functional film materials studying

刘桂珍 ¹周小荣 ¹何永 ¹周建¹

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摘要

关键词

脉冲激光沉积(PLD)/功能薄膜/应用/研究现状

分类

通用工业技术

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刘桂珍,周小荣,何永,周建..PLD技术在功能薄膜材料研究中的应用[J].中国水运（理论版）,2007,5(12):44-45,2.

中国水运（理论版）

ISSN：1006-7973

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