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提高溅射沉积MoS2膜耐磨性的途径及分析

张晓玲 胡奈赛 何家文

材料工程Issue(10)：44-47,4.
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材料工程Issue(10)：44-47,4.

提高溅射沉积MoS2膜耐磨性的途径及分析

张晓玲 1胡奈赛 1何家文2

作者信息

  • 1. 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室
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摘要

关键词

固体润滑/溅射沉积/二硫化钼/薄膜

分类

机械制造

引用本文复制引用

张晓玲,胡奈赛,何家文..提高溅射沉积MoS2膜耐磨性的途径及分析[J].材料工程,1999,(10):44-47,4.

材料工程

OA北大核心CSCD

1001-4381

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