溅射功率对掺铝氧化锌薄膜光电学性质的影响

范丽琴裴瑜林丽梅詹仁辉赖发春

福建师范大学学报（自然科学版）2008，Vol.24Issue(5)：44-48,5.

Influence of Sputtering Power on the Optical and Electrical Properties of ZnO:Al Films

范丽琴 ¹裴瑜 ¹林丽梅 ¹詹仁辉 ¹赖发春¹

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掺铝氧化锌薄膜/溅射功率/电学性质/光学性质

数理科学

范丽琴,裴瑜,林丽梅,詹仁辉,赖发春..溅射功率对掺铝氧化锌薄膜光电学性质的影响[J].福建师范大学学报（自然科学版）,2008,24(5):44-48,5.

福建省自然科学基金资助项目(2007J0317) （2007J0317）

福建省科技厅蓖点项目(2007H0019) （2007H0019）

福建省教育厅基金资助项目(JB06104) （JB06104）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1000-5277

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